提供专业全球性半导体自动化解决方案的企业

Semiconductor & FPD Automation Solution will be better than today.

Real-time data
Process control

Our Solution

可以跟英菲格兰合作什么样的事呢？

收集设备数据

半导体和LCD等Flat Panel Display设备拥有很多数据. 只有让Event, Status Variable, Alarm等信息跟各个Lot Tracking信息进行联动起来并收集才能使数据成为有效数据.

Overlay Control

Photo工艺在半导体微细化和提高收益率上是非常核心的工艺. 英菲格兰能制作通过对Scanning测量数据中的Overlay Parameter进行分析,为生产下个Wafer 计算出最佳的 Control Parameter, 并把最佳的Parameter提供给 Photo Scanner设备的R2R系统相关所有解决方案.

设备效率

可以对Wafer单位的形成的 Tracking信息和测量信息通过Tool to Tool Matching 发现Key factor, 对每秒发生10件以上Health数据Pattern进行分析等作业.因此通过MES管理而遇到的设备生产性,可用性,信赖性瓶颈的问题,通过英菲格兰的解决方案能够有效解决并达到更高水准.

Our Product

为您介绍英菲格兰的产品

Cloud Fab™

Virtual Semiconductor Fab

Cloud Fab™提供虚拟FAB环境，以便能够提前预知半导体晶圆厂中可能出现的所有问题。会像在实际情况中一样生成Lot，并根据PFO（Product、Flow、Operation）的顺序运行。在这个Cloud环境中，可以进行DT解决方案的开发以及设备软件的开发和测试。

Hum ™

Equipment Data Collection Solution

Hum™收集设备产生的所有数据，并将其转化为生产信息、测量信息等能被MES、 EES、YMS及其他系统所使用的数据。

Tuba™

Photo Correction Per Exposure Solution

Tuba™是一种R2R系统，它通过Photo工艺结果Parameter及测量的Overlay Parameter计算出Control Parameter，然后再将这些Control Parameter反馈给Photo Scanner设备。

Rahona™

EPT(Equipment Performance Tracking) Solution

Rahona™是一种符合SEMI E10 (RAM)、 SEMI E58 (ARAMS)、SEMI E79 (OEE)、SEMI E116 (EPT)要求的半导体设备性能分析系统。

LIMS

Laboratory Infomation Management Solution for Semiconductor research fab

LIMS是一款用于数字化整合管理半导体研发Fab中产生的所有数据与工作流的解决方案。
它超越了单纯的数据记录，能够帮助实现从样品入库到发布最终结果报告（成绩单）全过程的自动化与追踪。

Awan™

CD-SEM Image Analysis Solution

通过分析CD-SEM图像进行虚拟测量，
能够对Scanning的所有Wafer进行快速测量。

Cumbus™

Unstructured Data Online Solution

Cumbus™通过将各种格式的文件数据在线连接到自动化系统，使得那些此前不得不被舍弃的关键数据，能够以较低的成本在现有的自动化系统中作为重要数据加以利用。

Nubes™

Recipe Management Solution

通过管理半导体设备的Recipe，防止工艺事故，提高设备效率。

Wolke™

PR Liquid Management Solution

Wolke™对PR从入库、储存、解冻、设备安装到废弃的整个生命周期进行管理，不仅支持现有的基于PDA方式的Event管理，还支持利用最新RFID技术进行的移动和更换处理。在管理PR时，Wolke™不仅能自动管理可能发生的更换事故，还能自动管理先进先出（FIFO）原则、使用期限、保存期限等，同时确保PR成本降低。

developed technology

AI-Based Lot Flow Generation Engine

PFO (Product, Process Flow, Operation) Information

PFO是用于半导体Fab自动化与仿真的术语，指用于半导体生产管理的核心信息单位。它是结合了P（Product/产品）、 F（ProcessFlow/工艺流程）和O（Operation/工序）的信息，是在数字孪生（Digital Twin）环境中生成实际生产线Lot（批次）并预先确认工艺问题时不可或缺的数据结构。该技术基于AI自动生成与现实世界完全一致的PFO信息，用于开发和测试虚拟Fab及半导体自动化解决方案。

OEE Calcuation Engine

Overall Equipment Efficiency engine for semiconductor equipment

这是包含在英菲格兰EPT（设备性能跟踪）解决方案 Rahona™中的OEE 计算引擎。为了计算OEE，需要将可用性（Availability）、性能（Performance）和质量（Quality）量化，并定义和计算ST（标准工时），同时还需要运用Q3（第三四分位数）等统计方法。OEE计算引擎是一项专门开发的技术，仅凭半导体生产过程中的Lot跟踪信息即可算出准确的OEE值。

Under development 2026

Wafer Map based on Unity

Flexible 3D-based wafer map

基于Unity的晶圆图（Wafer Map）不仅仅是简单的2D图形，而是利用游戏引擎强大的渲染性能打造的高性能可视化工具。该技术正在开发中，旨在实现海量数据的实时可视化、3D数字孪生构建、交互式用户体验以及高度可扩展和定制化的功能。

Pyhton Studio

Web-based Python Integrated Development Environment

Python Studio是一款内置的Python集成开发环境（IDE），专为处理基于LLM的AI Agent、生成式报告及复杂逻辑计算而设计。通过将Python Studio连接到多种半导体DT解决方案，用户可以进行代码开发、测试、执行与修改，并在统一的环境中实现从版本控制到生产环境部署的全流程管理。

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